工程實績

二、產業協作

  • 群創光電 3、4、5、6、7 廠    DMS HPMJ MODIFY
  • 群創光電 3、5廠    DMS 裝機、移機 (DOCKING、LEVELING…..)
  • 群創光電 T6 廠    DNS 裝機 (DOCKING、LEVELING…..)
  • 群創光電 4、6廠    DNS WATER CURTAIN & AIR KNIFE MODIFY
  • 群創光電 T6 & 7廠    DNS US MODULE MODIFY
  • 友達光電    COATER COATING PIN 增設改造
  • 瀚宇彩晶    EUV 改造
  • 瀚宇彩晶    STRIPPER TANK 加裝改造